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  • 日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器

日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器

日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),和*效熱傳導(dǎo)材料的使用,LE可實(shí)現(xiàn)*效、大流量的液體汽化,可防治液體凝結(jié)。

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產(chǎn)品詳情

日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),和*效熱傳導(dǎo)材料的使用,LE可實(shí)現(xiàn)*效、大流量的液體汽化,可防治液體凝結(jié)。


日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),和*效熱傳導(dǎo)材料的使用,LE可實(shí)現(xiàn)*效、大流量的液體汽化,可防治液體凝結(jié)。較高操作溫度可打300℃,IPA汽化量可達(dá)30g/min(或等價(jià))。


日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器產(chǎn)品特點(diǎn):

創(chuàng)新設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)較大汽化率

新的噴射器嘴確保持續(xù)不斷穩(wěn)定汽化

全不銹鋼設(shè)計(jì),很大程度的避免腐蝕及減少顆粒物生產(chǎn)

支持多種液體源汽化



日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器規(guī)格參數(shù):

已應(yīng)用液體源:H2O/IPA/TEOS/SICL4

很大汽化量(氣體流量):

H2O:10g/min (12.4 SLM)

IPA:30g/min (11.1 SLM)

TEOS:50g/min(5.3 SLM)

SiCl4:130g/min(17.1 SLM)


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