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日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器是世界上初次采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器。

關(guān)鍵字:Horiba LF/LV,LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì),日本Horiba流量控制器

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產(chǎn)品詳情

日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器是世界上初次采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器。


日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

搭載有世界上初次采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器


日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器產(chǎn)品特點(diǎn):

通過(guò)采用數(shù)字回路,實(shí)現(xiàn)了高精度、高速響應(yīng)。

可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。

可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精細(xì)流體控制。

超潔凈類型



日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器技術(shù)參數(shù):

名稱質(zhì)量流量計(jì)型號(hào)LF-F20M-ALF-F30M-ALF-F40M-ALF-F50M-ALF-F60M-A

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測(cè)控制范圍

5??100% F.S.

對(duì)象液體種類 *1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度 *2

大值. 0.1 Pa·s (100cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

重復(fù)性 *3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi) (T98)

2秒以內(nèi) (T98)

使用環(huán)境溫度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

溫度影響 Span

±0.1%F.S./℃ 大值±1%

工作差壓值值 *5

大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50??300kPa (with piezo 控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計(jì))

壓力損失

大值. 500Pa

流量設(shè)定信號(hào)

模擬:0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號(hào)

模擬:0??5 VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動(dòng)電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質(zhì)

SUS316L, Ni

標(biāo)準(zhǔn)接頭

1/16”, 1/8” SWL類型, 

1/8” VCR 類型

1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

1/4” SWL類型 

1/4” VCR 類型


名稱質(zhì)量流量控制器型號(hào)LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測(cè)控制范圍

5??100% F.S.

對(duì)象液體種類 *1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度 *2

大值. 0.01 Pa·s (10cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

重復(fù)性 *3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi) (T98)

2秒以內(nèi) (T98)

使用環(huán)境溫度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃ 大值±1%

工作差壓值 *5

0.05??0.3MPa

耐壓

1MPa

壓力損失

流量設(shè)定信號(hào)

模擬:0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號(hào)

模擬:0??5 VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動(dòng)電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

PO 類型:1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類型: 5×10-12Pa?m3/s (He)

接液部材質(zhì)

PO 類型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 類型: SUS316L,Ni

標(biāo)準(zhǔn)接頭

1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

1/8 SWL類型,

 1/8”VCR 類型

1/4” SWL類型

1/4” VCR 類型

*1:LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先指定所使用 的液體。)

不能檢測(cè)含有固體物的液體。

如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí),請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。

LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí),請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過(guò)濾器。

*2:LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程,可以適用到較大值, 0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。

*3:以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。

*4:進(jìn)行測(cè)量??控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí),使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi);如果高于液體溫度時(shí),使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。

*5:這是在粘度0.001Pa??s中的F.S.流量值。


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