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DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機配有真空腔,射頻電源,真空泵,控制系統(tǒng),流量控制系統(tǒng)。

關鍵字:DSX-VPD-8L-S,DSX-VPO-8L-S,DSX-VPD-8L-S等離子清洗機

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品牌介紹
國 產
王經理 13261731718
產品詳情

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機產品簡介:

設備簡介:

1、真空腔

采用進口材料制作而成,焊接無漏氣,*優(yōu)化 8 層電*設計合理利用空間,專業(yè)等離子發(fā)生方式,絕緣可靠良好。

2、射頻電源

*全可靠的射頻電源(13.56MHz),為等離子的產生提供保障。

3、真空泵

快速靜音抽真空系統(tǒng)設計,真空度可至 10pa 以內,保證設備使用的各個需求壓力。

4、控制系統(tǒng)

PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)設計,方便客戶使用和操作。

5、流量控制系統(tǒng)

專業(yè)閉環(huán)流量控制系統(tǒng),保證工藝氣體的準確,確保等離子的效果的穩(wěn)定。


裝機前準備:

1、壓縮空氣:≥0.5mpa,?6mm PU 管

2、工藝氣體:AR&O2(純度:≥99.999%)0.15~0.25mpa,?6mm PU 管

3、廢氣排放:?50mm 接口

4、主電源:≥ 4mm2 電源線(三相五線),5.7KW Main


設備工作流程:

1、真空抽?。簩a品放置腔體內,關上腔體門,打開真空泵,將真空腔內氣壓從常壓抽至 30pa(自行設置)以內;

2、添加工藝氣體:將準確流量的工藝氣體添加至真空腔室內,均勻分布;

3、產生等離子:射頻電源提供能量電離真空腔內的工藝氣體,形成等離子體;

4、產品處理:根據(jù)設置時間處理產品的等離子處理時間;

5、破真空:產品處理完成后,打開破真空電磁閥,將真空腔壓力恢復至常壓取出產品。


DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機技術參數(shù):

名稱(Name)

Vacuum Plasma system真空等離子清洗機

型號(Model)

DSX- VPD-8L-S

技術參數(shù)(Technical Parameter)

備注(Remarks)

1

控制系統(tǒng)

(Control system)

PLC+HMI

Mitsubishi

2

真空泵

Vacuum Pump

旋片式真空泵

Rotary vacuum pump

TVP

3

等離子發(fā)生系統(tǒng)

Plasma generator

射頻電源 0-1000w+全網絡自動匹配器

RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network

KVMEN

4

真空監(jiān)控系統(tǒng)Vacuum Guage

皮拉尼電阻式真空計

Pirani resistance vacuum gauge

Ulvac

5

氣體流量控制系統(tǒng)Mass Flow Control

質量流量控制器

MFC control system

ETON

6

氣體控制系統(tǒng)

Gas control system

二通電磁閥控制

2 Channel solenoid valve control

SMC

7

抽真空控制系統(tǒng)Vacuum output control

高真空氣動擋板閥 GDW-KF40

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40

ISO standard

8

破真空控制系統(tǒng)Vacuum breaking control

高真空氣動擋板閥 GDW-KF16

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve

ISO standard

9

電*層數(shù)

Electrode Layer

水平電*板 8 層(層數(shù)可選)

8 Layers of horizontal electrode plate(Option)

AL6061-L

10

有效處理面積

Effective treatment area

300mm(D)*400mm(W)

Option

11

工藝氣體通道

Process gas channel

兩路工作氣體可選擇:AR O2 N2 H2 CF4 等

2 channels process gases option: AR O2

Option

12

腔體規(guī)格

Chamber Size

450mm(W)*450mm(D)*400mm(H)

AL-6061-L

13

整機外形尺寸

Layout Size

995mm(W)*1085mm(D)*1750mm(H)



名稱(Name)

Vacuum Plasma system

型號(Model)

DSX-VPO-8L-S

技術參數(shù)(Technical parameters)

備注Remarks

1

設備電源Power supply

3P : 380VAC 50/60Hz


2

設備功率Power KW

5.7KW


3

工作真空度

Working vacuum point

10-100Pa


4

抽真空時間

Vacuum output time

≤100s


5

破真空時間

Vacuum breaking time

≤30s


6

射頻電源功率

RF Power KW

0-1000W


7

機臺重量Weight

≤500KG


8

質量流量控制系統(tǒng)

MFC Range

0-200sccm


9

操作方式

Mode of operation

全自動運行系統(tǒng),一鍵啟動

Fully auto operation system, One-key starting




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